La mesura del buit és un component important de la tecnologia del buit. L'instrument que s'utilitza per mesurar el grau de buit s'anomena vacuòmetre.
Els manòmetres de buit que s'utilitzen habitualment per als forns de buit i els forns de fusió al buit inclouen els manòmetres de buit de termopar, els manòmetres de buit d'ionització, etc. El seu principi de funcionament és el següent:
(1) Indicador de buit de termopar
El manòmetre de buit de termoparell consta de components sensibles, manòmetres de termopar i instruments de mesura. El tub de mesura de termopar està connectat al sistema de buit provat, amb una carcassa exterior de tub de vidre i cables de calefacció i cables de termopar dins del tub. A causa de la diferència de temperatura entre els extrems freds i calents del cable del termopar, es genera potencial termoelèctric al circuit. Si la tensió del cable de calefacció es manté constant, el potencial del cable del termopar està limitat per la temperatura del cable de calefacció i la temperatura del cable de calefacció està relacionada amb la pressió del gas mesurat. Baixa pressió, baixa conductivitat tèrmica del gas, menys calor emportat pel gas, temperatura més alta del cable de calefacció i augment del potencial termoelèctric del cable del termopar; Al contrari, el potencial termoelèctric disminueix. El potencial termoelèctric del circuit es mesura amb un mil·livoltmetre i els mil·livolts del mesurador reflecteixen el nivell de buit. Per tal de garantir l'estabilitat de tensió del cable de calefacció, es va connectar una font d'alimentació estable. Així, l'instrument de mesura consisteix en un mil·livoltmetre per mesurar el potencial termoelèctric i una font d'alimentació estabilitzada per cable de calefacció regulada.
(2) Manòmetre de buit d'ionització
Aquest tipus de vacuòmetre s'utilitza principalment per mesurar alts nivells de buit. En gasos de baixa pressió i forts, el nombre d'ions positius generats per la ionització de les molècules de gas és directament proporcional a la pressió del gas. Segons diferents mètodes d'ionització, un vacuòmetre que utilitza un càtode calent per emetre electrons per ionitzar el gas s'anomena vacuòmetre d'ionització de càtode calent; Entre ells, el manòmetre de buit d'ionització de càtode calent consta d'un manòmetre de càtode calent i instruments de mesura. L'instrument de mesura consta d'una font d'alimentació regulada, un estabilitzador de corrent d'emissió, un amplificador de mesura de corrent d'ions i altres components. El mesurador d'ionització de càtode calent està connectat al sistema de buit provat. Un mesurador d'ionització de càtode calent és un transistor amb un càtode, una porta i un col·lector a l'interior. Recull el potencial polar relatiu al potencial electronegatiu catòdic; La porta té un potencial positiu en relació amb el càtode. Quan el mesurador d'ionització s'electrifica i s'escalfa, el càtode emet electrons, que xoquen amb les molècules de gas durant el procés d'arribar a la porta, donant lloc a la ionització d'ions i electrons positius. Quan el corrent d'emissió és constant, el nombre d'ions positius per dia és directament proporcional a la pressió del gas mesurat. Després que els ions positius siguin recollits per l'elèctrode col·lector i amplificats pel circuit de mesura, el grau de buit que s'ha de mesurar (forn de caixa) es pot llegir pel comptador elèctric indicador.
(3) Manòmetre de buit compost
Normalment, no es pot utilitzar un sol indicador de buit per mesurar el buit baix i alt, però s'ha d'utilitzar un indicador de buit compost, amb els indicadors de buit compostos d'ionització i termoparell que s'utilitzen més habitualment. El seu rang de mesura és de 13,33-666,6 × 10-8Pa. Mesura del baix buit a (10-10-10-3) x 133,32 Pa mitjançant un manòmetre de buit de termopar; El vacuòmetre d'ionització mesura un alt buit de 133,32 × 10-3-666,6 × 10-8Pa. El manòmetre de buit compost està equipat amb un manòmetre de termopar i un manòmetre d'ionització, connectats respectivament al sistema de buit. Els dos indicadors es poden escalfar per separat mitjançant un botó i es poden seleccionar per utilitzar-los.